CVD单壁碳纳米管生长设备

1、不锈钢防爆设计和水冷保护 

局部水冷层与加厚保温层结合，防爆且能耗低，同时 设备安装有易燃易爆气体探测器

2、多级雾化超声进料设计 

进料均匀一致，有效控制定向生长，提高批次一致性

3、配备真空系统接口 

可快速置换炉内氛围，所用气体通常为氩气（载气） 氢气（还原气体）及甲烷（碳源气体，依工艺要求选用）

 4、进气配置预热系统 

使气体进入反应炉前达合适温度，确保反应条件一致 

5、大口径炉管与转轴收料机构 

保障产能且可不停机连续收料