SiC CMP抛光设备

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产品摘要
SiC CMP抛光设备由江苏创生源智能装备股份有限公司提供。
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产品参数
型号
SiC CMP抛光设备
产品详情

系统配置

系统类型:全自动化干燥/干燥晶圆尺寸:150mm或200mm工艺可行·EFEM:2-盒式,传输机器人中间机器人