离子束抛光机IFS2000S

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ÅFiSy IFS2000S是专用于Φ2米量级光学元件的离子束抛光系统，**可满口径加工Φ2米、厚度500mm的光学元件，工件采用立式装夹方式，工件装夹系统可承载的工件重量≥2500kg（含镜框），设备可加工材料包括光学材料（微晶玻璃、ULE、融石英、K9）、单晶材料（Si、锗、单晶SiC）、红外材料等，可加工的光学表面包括平面、球面、非球面、自由曲面等，可加工镜面外形包括圆形、椭圆、长方形等，*终面形加工精度优于1/10波长PV，1/100波长RMS（波长取632.8nm），表面粗糙度优于1nmRMS。