F-REX200M2化学机械研磨设备
面议
产品摘要
F-REX200M2化学机械研磨设备由上海荏原精密机械有限公司提供。
当前价格信息以面议或企业沟通为准。
当前页面提供 2 组参数信息，可用于快速了解规格。
产品参数
型号
F-REX200M2
范围
120-200目
产品详情
产品特点
干进干出
有支持大批量生产的多样辅助设备
优越的工艺性能
研磨终点检出监视器(可选)
在线膜厚测定仪(可选)
Model F-REX系列 本装置是用于无尘室中对半导体晶元表面进行化学机械研磨的CMP设备。设备具备经市场证明了的高度可靠以及优越的过程处理性能,并能对各个客户的特殊规格要求进行灵活应对。
