SiC石墨盘

石墨托盘

技术

1)用于LED外延片加工石墨顶板;

2)挡板结构内部晶片边缘休息;

3)挡板与晶片衬底到两个层次之间的互补关系;

4)保持挡板晶片衬底边缘重合边构成充分循环。

功能

1)较低的热膨胀系数

2)thermak导电性更好

3)稳定的化学perfermance

4)更好的耐蚀性

5)较强的导电性

规范

数量单位

体积密度1.85克/立方厘米

比电阻11 - 14 uΩm

抗压强度90 mpa

挠曲强度40 mpa

肖氏硬度60

灰分500 ppm

平均粒度20 um

膨胀系数4.5 gte

弹性模量11平均绩点