DUV/EUV光罩除尘机

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产品摘要
DUV/EUV光罩除尘机由科毅科技股份有限公司提供。
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产品参数
型号
DUV/EUV光罩除尘机
产品详情

项目

参数

应用范围

用于3~5~200nmEUV 

同时兼容KrF/ArF 

配备

压缩空气滤清器、除静电离子风、X-Ray除静电系统

风刀角度

可手动调整高度&角度

风量压力控制

电子式气压控制