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DUV/EUV光罩除尘机
DUV/EUV光罩除尘机
科
科毅科技股份有限公司
面议
产品摘要
DUV/EUV光罩除尘机由科毅科技股份有限公司提供。
当前价格信息以面议或企业沟通为准。
当前页面提供 1 组参数信息,可用于快速了解规格。
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产品参数
型号
DUV/EUV光罩除尘机
产品详情
项目
参数
应用范围
用于3~5~200nmEUV
同时兼容KrF/ArF
配备
压缩空气滤清器、除静电离子风、X-Ray除静电系统
风刀角度
可手动调整高度&角度
风量压力控制
电子式气压控制
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