TaC涂层石墨

由东海自主研发的TaC材料及涂层技术，可应用于SiC外延用涂层盘、UVLED外延用涂层盘、SiC单晶生长部件，我们的TaC涂层解决工艺有以下几大优势：

1、出色的抗热冲击阻力

2、出色的抗物理冲击阻力

3、在高温下，出色的耐化学性（≤2500℃）

4、超高纯度

5、可加工成各种复杂的形状

6、Ta元素和C元素比例为1:1