半导体器件设备-硅片显影定影设备
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产品摘要
半导体器件设备-硅片显影定影设备由北京华林嘉业科技有限公司提供。
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产品参数
型号
TBLM9
范围
超细
应用行业
电石炉除尘，铁合金厂各种电炉除尘;钢铁厂烟气净化;燃煤锅炉及电厂小型锅炉除尘;垃圾焚烧炉除尘;冶炼厂的高温烟气除尘;铝厂烟气净化;水泥厂旋窑窑尾、窑头除尘;碳黑厂尾气除尘等
产品详情
半导体器件设备-硅片显影定影设备
全自动显影机型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB 1．概述：本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行显影和定影，该产品技术先进、一致性强，适用于规模生产。 2．整台设备材料均为进口。 3．本设备为双排槽构成，每排7槽，各设一套机械手，两排可同时完成相应的工序。 4．本设备除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成。 5．每槽装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）。 6．工作区洁净度：100级。 7．槽间工艺转换时间：Tm
