外延及LED涂层石墨盘

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产品摘要
外延及LED涂层石墨盘由东海耀碳素(大连)有限公司提供。
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外延及LED涂层石墨盘
产品详情

外延设备在现代半导体行业中是关键的一环,在LED关键设备MOCVD及化合物半导体外延设备中,东海碳素的碳化硅SiC及碳化钽TaC涂层石墨盘被广泛应用。