AltraPure® Giga 系列在线式气体过滤器
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产品摘要
AltraPure® Giga 系列在线式气体过滤器由上海敖纯过滤技术有限公司提供。
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产品参数
型号
AltraPure® Giga 系列在线式气体过滤器
产品详情
AltraPure® Giga 系列在线式气体过滤器，是专为过滤精度≥3nm（0.003µm）的高流量电子气体过滤应用进行的设计，过滤器适用**工艺流量达3000slpm。
过滤器有 PTFE内芯组件 & 全氟内芯组件 两个系列，具有优秀的化学兼容性，适用与多数类型的半导体制程工艺气体和大宗气体。
