CXF-200/1401磁悬浮分子泵

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产品摘要
CXF-200/1401磁悬浮分子泵由北京中科科仪股份有限公司提供。
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产品参数
型号
CXF-200/1401
范围
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应用行业
硅刻蚀,离子注入,玻璃镀膜,PVD镀膜,科研应用,表面分析,加速器,太阳能,热处理。
产品详情

CXF-200/1401磁悬浮分子泵

性能特点/ Features

●高洁净度、免维护、低振动、任意角度安装、更高的前级耐压、集成控制器

●五轴磁悬浮轴承。转速可调、转子运转监控和自动平衡、断电自动保护、温度管理系统

●防腐、低噪声、节能、体积更小重量更轻


应用领域/ Application

硅刻蚀,离子注入,玻璃镀膜,PVD镀膜,科研应用,表面分析,加速器,太阳能,热处理。