PU22系列中流量高纯减压器

结构特点 Features

i ◆ 金属膜片密封 ，提高产品的洁净度与泄漏率

◆ 流道内部电解抛光粗糙度：EP: Ra 5 μin BA: Ra 10μin

◆ 母体螺纹：1/2"JFS接头

◆ 内部容积：1.07in³

◆ ＊大流量：标准:30 SLPM,高流量 *HF:120 SLPM

◆ 设计验证压力：＊大额定压力的150%

◆ 设计爆炸压力：＊大额定压力的300%

◆ 100%出厂氦气测试