碳化硅籽晶镀膜设备

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产品摘要
碳化硅籽晶镀膜设备由哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司提供。
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产品参数
型号
碳化硅籽晶镀膜设备
产品详情

碳化硅籽晶镀膜设备

一、产品介绍

籽晶镀膜设备由加热装置、真空系统、控制系统和旋转系统等组成。

二、产品参数