团簇式OLED真空蒸镀工艺装备

Name: 团簇式OLED真空蒸镀工艺装备
Brand: 鹏城半导体技术（深圳）有限公司

鹏

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产品摘要

团簇式OLED真空蒸镀工艺装备由鹏城半导体技术（深圳）有限公司提供。

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产品参数

型号

团簇式OLED真空蒸镀工艺装备

产品详情

团簇式OLED真空蒸镀工艺装备是自主“OLED真空蒸镀工艺装备”，是“卡脖子”的35项关键技术的第六项。项目技术团队已完成G1(1代线) 和G2.5（2.5代线）的研发设计和生产制造。

项目技术团队已经解决了大部分关键技术问题（如：源炉技术、精准对位技术（对位精度达到1.5μm）、精密蒸镀电源技术、原位膜厚测量技术、高真空传递机械手、电控系统及自动化控制软件等）。

公司可对外承接OLED的G1和 G2.5工艺线的设计制造。

技术指标