碳化硅籽晶粘接设备

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产品摘要
碳化硅籽晶粘接设备由哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司提供。
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产品参数
型号
碳化硅籽晶粘接设备
产品详情

碳化硅籽晶粘接设备

 

  一、产品介绍:

籽晶粘接设备由加热系统、压力系统、真空系统、水冷系统、控制系统等组成。可实现自动压片、自动升温。

二、产品参数