单片式-预热环 Si外延设备零部件

面议
产品摘要
单片式-预热环 Si外延设备零部件由深圳市志橙半导体材料股份有限公司提供。
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产品参数
型号
单片式-预热环 Si外延设备零部件
产品详情
产品介绍及用途:处于Si外延衬底托盘外圈,用于校基准、加热
产品所处设备位置:反应腔内,非直接接触晶圆