超高真空双倾角室蒸发设备

超高真空双倾角室蒸发设备

技术参数 ：

1、UHV超高真空腔体：2腔室，负荷锁和蒸发，负荷锁极限真空 极限压力<1E-8 Torr，可加热RT-900ºC

2、蒸发腔：极限真空 极限压力<3e-9 Torr

3、高分辨率镀膜速率显示及控制 ：±0.015，Å100mm镀膜均一性<3%

4、基板操控能力：可实现180度倾斜及360度旋转，0.1度的精准控制，加热RT-600ºC

5、传输 ：全自动样品传输