自动回转进料PECVD设备

面议
产品摘要
自动回转进料PECVD设备由合肥康帕因设备技术有限公司提供。
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产品参数
型号
自动回转进料PECVD设备
产品详情

 产品特点:

 1.该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结更均匀;

 2.可左右大角度倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间。

 3、广泛应用于电池正负极材料,无强酸碱性粉体材料,颗粒状物料。

型号LFT 1200C440D60R-CVD
**温度1200℃
工作温度1100℃
升温速率30℃/min
加热区长度440mm
控温精度±1℃
加热元件电阻丝
热电偶K型
控温方式模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。
炉管尺寸Φ60*420*2+Φ100*360mm
炉管转速3~13r/min
倾斜角度0~35°
密封方式两端法兰+磁流体密封
加热功率3KW
供电电源220V  50Hz
设备净重约200KG
供气系统100sccm、200sccm、200sccm(量程、流量计数量可选)
真空系统低真空机组,真空度可达1*10-1 
(可选配高真空机组)