干燥/烧结一体炉

产品功能:

◆设备烘干，然结一体化结构紧凑合理，符合半导体制造标准。

◆稳定可靠的工艺温度控制系统（采用英国WEST温度控制器）。

◆采用美国进口加热灯管加热。

◆采用先进的文氏排气系统，从而保证了有害气体的不泄露。

◆设备控制采用工业控制机统一控制。