电阻加热PVT SCR950系列碳化硅单晶炉
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产品摘要
电阻加热PVT SCR950系列碳化硅单晶炉由南京晶升装备股份有限公司提供。
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产品参数
型号
电阻加热PVT SCR950系列碳化硅单晶炉
产品详情
◆ 设备采用多段式电阳加热，可实现长晶过程中温度梯度的动态调整；
◆ 同时，先进的气流路径规划及热场防护技术，可降低长晶过程的热场衰减，增加热场使用寿命，提升温场稳定性；
◆ 配备长晶界面可视化系统，实时监测晶体生长状态以提升长晶效率。
