产品参数
型号
RTP快速炉
产品详情
升降温速度快，升温采用环形红外短波加热器，*快升温速率可达200°C/s，降温时通过将炉膛退出，实现对产品的快速降温；
测温采用精准的S型金属热电偶直接测量产品表面，使加热工件的温度更加准确
控制数学控制数学模型采用先进的PID自学习模糊双闭环控制模式，使控温精度在快速升温的恒温状态仍能保持在+3°C;
功能多样化，既可以用于材料的快速升降温退火，也可用于化学气相沉积(CVD)法，在或铜箔上制备石墨烯的制备.
