HVPE长晶炉

面议
产品摘要
HVPE长晶炉由山东力冠微电子装备有限公司提供。
当前价格信息以面议或企业沟通为准。
当前页面提供 3 组参数信息,可用于快速了解规格。
产品参数
型号
HVPE长晶炉
范围
广泛
应用行业
广泛
产品详情

衬底:2/4/6/8英寸

Substrate size :2/4/6/8 inches 基板サイズ:2/4/6/8インチ

数量:1片/多片

Quantity:1pcs/multiple pcs 数量:1枚/複数枚

控温精度:精度高,温区稳定性好

Temperature control precision : High temperature

 control precision and good statlity in temperature zone

温度制御精度:高精密度、温度帯での安定性が高い

结构:立式/卧式可选,满足多种尺寸衬底多种

操作方式需要

Structure: Vtica/horizontal structual is optional,can meet theneeds of customerswith various sizes ofsubstrates and variousoperation modes.

構造:縦型/横型(オプション)、複数の基板サイズ及び動作モードのニーズに対応

安全保护功能:硬件保护+软件互锁

Security protection: Hardware protection+software interlock