SiC高温氧化炉
面议
产品摘要
SiC高温氧化炉由山东力冠微电子装备有限公司提供。
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产品参数
型号
SiC高温氧化炉
范围
广泛
应用行业
广泛
产品详情
专用于SiC晶圆的高温氧化工艺，可实现晶圆片高温真空环境下完成氧化工艺。
可使用O2,N2O，NO，NO2或湿法氧化，采用无金属加热和真空装备。
