化学气相沉积炉

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产品摘要
化学气相沉积炉由湖南联合半导体科技有限公司提供。
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产品参数
型号
化学气相沉积炉
产品详情

**温度:1100~2200°C
有效工作区尺寸:中1500*2000mm
涂层设计:微观结构
涂层厚度:30~150um