连续加料直拉单晶炉 CCz

连续加料直拉单晶炉 CCz

主要技术指标

1、整机尺寸:(LWH)2000X2300X10800m;

2、主腔室内径1400mm，副炉室内径350mm;兼容24~34英寸RCz和32~34英寸CCz热场，可拉制10英寸以下直径的晶体;

3、加热方式:电阻加热，DC电源Pmax=150:50Kw，频率50Hz;