PE-CVD系统

工艺规范

◆绕镀：<1mm

◆Poly均匀性(80-150nm):<4%(片内/片间/批间)

◆成膜种类：SiNx,SiONx,POLY

硬件规格

◆温区数量：6个温区

◆**温度：650℃

◆温度均匀性：300℃~650℃±1℃

◆晶圆装载法：桨软着陆

◆工艺腔的材质：石英

主要特点

◆产能：616~768pcs/管(双舟)

◆管数：6管

◆压力控制：APC控制方式

◆系统控制：PLC和PC工控机

◆通讯：Melsec,MES,I/O,SECS-II等

◆自动化集成：用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方案

优点

◆快速的工艺认证，允许极高的生产提升

◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力

◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务，确保设备长期稳定使用