水平氧化扩散炉1

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水平氧化扩散炉1由青岛华旗科技有限公司提供。
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水平氧化扩散炉1
产品详情

全自动机械手装卸,悬臂/软着陆

晶圆自动倒片,完整的工厂MES系统对接,符合SECSⅡ/HSMS/GEM等标准