低压硼扩散炉赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司

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低压硼扩散炉

赛

赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司

面议

产品摘要

低压硼扩散炉由赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司提供。

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产品参数

型号

低压硼扩散炉

产品详情

主要特点

◆产能:2200~2880pcs/管

◆管数:6管

◆压力控制:APC控制方式

◆系统控制:PLC和PC工控机

◆通讯:Melsec,MES,I/O,SECS-II等

◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方案

工艺规范

◆方阻值:50~350 Ω/cmsq

◆极限真空:≤20mbar

◆方阻均匀性:<5%(片内/片间/批间)