三氯化硼（BCl3）
面议
产品摘要
三氯化硼（BCl3）由艾佩科（上海）气体有限公司提供。
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产品参数
型号
三氯化硼（BCl3）
范围
nm-um
产品详情
| 三氯化硼（BCl3） | |
| 化学式 | BCl3 |
| 中文名称 | 三氯化硼 |
| 英文名称 | Boron Trichloride |
| CAS No. | 10294-34-5 |
| 分子量 | 117.17 |
| 充装系数 | 1.20kg/L |
| 应用 | 在半导体生产中用于P型半导体的扩散源；离子注入；等离子刻蚀金属。用于多种化学反应。 |
| 产品规格 | ≥99.9%~≥99.9999% |
