悬臂桨

反应烧结碳化硅悬臂奖，是半导体晶圆装载系统的关键部位。悬臂桨性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载量大，适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂奖截面稳定不变形，使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。

悬臂桨与LPCVD涂层的热膨胀系数相近，应用于LPCVD极大地延长了维护清洗周期，并大幅减少污染物。