前驱体源瓶

产品介绍

前驱体源瓶用于固态、液态及气态超纯物料类的封装，涉及微正压、常压、中低压的危险化学品，对源瓶的安全性和洁净度提出严苛的要求。

主要部件材料

阀体                      316L /316L（VIM+VAR）
瓶体                      316L

工作条件

工作压力                0.8Mpa

内漏率                    ≤ 1×10 ^-10 Pa.m³ /sec.He

外漏率                    ≤ 1×10 ^-10 Pa.m³ /sec.He

工作温度                0 ～ 150℃

内表面粗糙度          Ra ≤ 0.2μm

产品特点

超纯物料类的封装

涉及微正压、常压、中低压