GaN外延设备石墨部件
面议
产品摘要
GaN外延设备石墨部件由苏州铠欣半导体科技有限公司提供。
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产品参数
型号
GaN外延设备石墨部件
产品详情
产品特点
涂层厚度均匀，极差<10um
金属杂质含量<2ppm
涂层致密，无针孔，耐刻蚀，寿命长
>行星盘一致性好，均温性好，盘间温差<2C
应用领域
>GaN功率器件
