铭恒PDCMG型等离子清洗机PDMS和玻璃键合设备
100.68
曝光机;曝光机Cchip;0019;高深宽比紫外光刻机;紫外光刻机
产品摘要
铭恒PDCMG型等离子清洗机PDMS和玻璃键合设备由苏州中芯启恒科学仪器有限公司提供。
产品摘要：曝光机;曝光机Cchip;0019;高深宽比紫外光刻机;紫外光刻机
参考价格：100.68。
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产品参数
品牌
中芯启恒
整机规格
500×300×300（长×宽×高）mm
整机重量
35 Kg：
清洗舱规格
Φ165×L210 mm (耐热玻璃)
清洗舱有效容积
4.5 L
输入电源
220 V／50 Hz
整机输入功率
400 W
射频输出
0～150 W（连续可调）
射频频率
13.56 MHz
数字式定时器范围
0～99.99 min
极限真空度
60 Pa
二路浮子流量计
0.2~1.5L/min量程，方便二种气体按比例混合
观察窗
观察清洗仓内辉光状态
常用工作气体
空气、氩气、氮气或混合气体
型号
VRD-8型单相真空泵
产品详情
