高校研发用台式抛光机研磨机 晶圆磨抛机 半导体加工设备-艾姆希
9999.00
半导体抛光;半导体研磨;CMP;艾姆希;晶圆磨抛机
产品摘要
高校研发用台式抛光机研磨机 晶圆磨抛机 半导体加工设备-艾姆希由北京欧科天远科技有限公司提供。
产品摘要：半导体抛光;半导体研磨;CMP;艾姆希;晶圆磨抛机
参考价格：9999.00。
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产品参数
品牌
艾姆希
是否进口
否
用途范围
设备主要适用材料包括： 硅，碳化硅，蓝宝石，磷化铟，砷化镓，碲锌镉，碲镉汞，光纤等多种材料
电源
220-240v 10A 110v 10A 50-60HZ
环境温度
20°C ± 5°C
晶圆尺寸
6”
工作盘直径
420mm
摆臂驱动转速
0-120rpm
盘转速
0-100rpm / 0-120rpm
定时时间
0-10小时
进料通道
1
摆臂摆动范围
0-100%
固定系统组件
夹具、摆臂
研磨工艺组件
研磨盘、修盘块、供料桶
抛光工艺组件
抛光液进料系统、抛光盘
材质
防腐材质
类型
抛光研磨机
产品详情
• 在线实时磨抛盘温控及冷却选配功能，盘温接近预设温度警戒值，设备会自动启动冷却功能，保持磨抛盘在工艺要求的温度范围内运转工作。
• 磨抛盘自动冲洗选配功能，可实时在线冲洗磨抛工作区域。并且流速，清洗时间等参数可精确数控。
• 设备定时功能，预设时间0-10小时。预设时间达到，设备自动停机。
