单面抛光机 TSP-400

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产品摘要
单面抛光机 TSP-400由北京特思迪半导体设备有限公司提供。
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产品参数
型号
单面抛光机 TSP-400
产品详情

该系列抛光机是落地式高精度单面抛光设备,配置抛光盘冷却和温度监控系统,保证抛光过程恒温,设备操作简单、配置丰富,可搭配铜盘、锡盘、玻璃盘、不锈钢盘等(可选配车刀系统),配合不同类型的抛光液,适用于各种半导体材料的抛光。

TSP-400TSP-450

抛光盘规格OD400 mm

抛光头数量2个

抛光头加压方式砝码或真空抛光压头

抛光头摆动功能具备