200mm硅片抛光设备

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产品摘要
200mm硅片抛光设备由浙江芯晖装备技术有限公司提供。
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产品参数
型号
200mm硅片抛光设备
产品详情



基本规格

  • 尺寸: 2.8 米(长)x1.2 米(宽)x2.2 米(高)

  • 重量:4.5 吨

设备构成

  • 研削主轴(2sets)

  • 清洗干燥单元

  • 背面清洗单元

  • 搬送单元(Robot)

**加工尺寸

  • φ 200mm

加工方式

  • 干进,干出