19片2吋石墨基座

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产品摘要
19片2吋石墨基座由深圳市志橙半导体材料股份有限公司提供。
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产品参数
型号
19片2吋石墨基座
产品详情
产品介绍及用途:放置19片2吋衬底,用于生长深紫外LED的外延片
产品所处设备位置:反应腔内,直接接触晶圆

公司通过工艺改进提升、新产品研发等手段挖掘市场需求,坚持开发一代、储备一代、销售一代的发展战略,积极开展外延、刻蚀、氧化扩散和晶体生长等半导体设备用实体碳化硅零部件、烧结碳化硅零部件和碳化钽涂层石墨零部件等新产品研发,并陆续进入试制、验证阶段。公司致力于成为全球半导体设备零部件、材料领域的一流企业,持续推动半导体关键碳化硅零部件的技术进步。