刻蚀环

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产品摘要
刻蚀环由湖南联合半导体科技有限公司提供。
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产品参数
型号
刻蚀环
产品详情

产品介绍:

提高洁净的刻蚀环境,保证刻蚀精度和质量,用于晶圆刻蚀工艺

适用机型:

第三代半导体刻蚀机

产品参数:

基材:CVDSiC(纯度>6N)

特点:纯度高,耐腐蚀,高强度,化学性能稳定