石墨基座
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产品摘要
石墨基座由湖南联合半导体科技有限公司提供。
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产品参数
型号
石墨基座
产品详情
产品参数
基材：等静压石墨(纯度>6N)
涂层：β-SiC(厚度=100±10μm)
特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强
