UV-LED 石墨盘

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产品摘要
UV-LED 石墨盘由湖南联合半导体科技有限公司提供。
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产品参数
型号
UV-LED 石墨盘
产品详情

产品介绍:

放置2时蓝宝石衬底,用于生长深紫外 LED的外延片

适用机型:

AIX CCS

产品参数:

基材:等静压石墨(纯度 >6N)

涂层:B-SiC(厚度=110±10 um)

特点:致密度高,耐高温耐腐蚀,涂层结合力强

使用寿命:>50Run