AltraPure® Max 系列在线式气体过滤器

AltraPure® Max 系列在线式气体过滤器，设计为过滤≥3nm（0.003μm）颗粒物的工艺气体。

为大工作流量范围（0~1000slpm）、高杂质含量工艺气体应用提供了一个具有成本效益的过滤解决方案。

过滤器具有优秀的化学兼容性，适用于所有种类的半导体制程气体，如：化学气相沉积、物理气相沉积、干法刻蚀、氧化、扩散、离子掺杂、光刻显影等干法或湿法制程中工艺反应气体、吹扫气体、保护气体等的过滤。