超高真空多腔体磁控溅射系统

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产品摘要
超高真空多腔体磁控溅射系统由厦门韫茂科技有限公司提供。
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产品参数
型号
QBT-MP
范围
0.2un--1.5un可控
应用行业
小型试验设备
产品详情

超高真空多腔体磁控溅射系统

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技术参数:


基板:可加热至RT-900ºC,可旋转,基板与靶材距离连续可调,晶圆和靶空间可以连续变化

极限真空:<3E-9Torr

基板传输:高度可靠和可重复的基板传输能力