内外腔型百克级粉体分子层沉积系统

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产品摘要
内外腔型百克级粉体分子层沉积系统由厦门韫茂科技有限公司提供。
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产品参数
型号
GM100
范围
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产品详情

内外腔型百克级粉体分子层沉积系统

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技术参数 :

1样品**装载量:100g(可根据需求定制), 也可放置3D基体及多片平片

2样品反应温度:RT-300ºC

3前驱体:**可包括2组反应气体8组液态或固态反应前驱体,