立式长晶炉

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产品摘要
立式长晶炉由沈阳中科汉达科技有限公司提供。
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产品参数
型号
立式长晶炉
产品详情

技术参数

生长工艺

HVPE法

产品类型

非标定制

加热方式

电阻式加热

**温度

1100℃

恒温区尺寸

100mm

控制方式

PLC集成控制

系统真空检漏漏率

≤5.0×10-7 Pa.l/S

冷却方式

循环水路系统