腔体合成炉

适用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶体生长，采用中频感应电源加热方式，上取放料、坩埚轴快慢速移动。

适用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶体生长，采用中频感应电源加热方式，上取放料、坩埚轴快慢速移动。内壁氩弧焊接，内表面镜面抛光，反射热量，减少功率损耗，减少气体附着。自主研发控制系统，实现自动化稳定、安全、操作便捷。适用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶体生长，采用中频感应电源加热方式，上取放料、坩埚轴快慢速移动。内壁氩弧焊接，内表面镜面抛光，反射热量，减少功率损耗，减少气体附着。自主研发控制系统，实现自动化稳定、安全、操作便捷。