SCET420系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
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产品摘要
SCET420系列感应加热PVT碳化硅单晶炉由南京晶升装备股份有限公司提供。
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产品参数
型号
SCET420系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
产品详情
◆ 设备采用先进的电磁屏蔽技术；
◆ 同时对真空、温度等控制参数定点标定及二次校准，减小机差；
◆ 增强碳批量化生产的工艺可复制性。
