碳化硅原料合成炉 HC-SCET1000系列
面议
产品摘要
碳化硅原料合成炉 HC-SCET1000系列由南京晶升装备股份有限公司提供。
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产品参数
型号
碳化硅原料合成炉 HC-SCET1000系列
产品详情
◆ 设备采用分段式高纯度石墨电阻加热及热场结构，温场均匀性好；
◆ 通过气流路径优化与热场防护技术，具有高腐蚀性气氛下排杂、杂质的定向沉积与热场稳定的特点；
◆ 可满足高品质碳化硅原料合成;设备**装料量达到100KG，大幅提升了原料合成效率。
