6 ~ 8英寸PVT碳化硅长晶炉 （感应式）

采用感应加热方式，在石英管/不锈钢腔体内以物理气相传输法（PVT）生长高纯SiC晶体。

性能优势

下进料方式，利于实现工厂自动化。

热场旋转，升降式线圈，用于调整温度场。

自主研发异地网络远程监控操作系统，实现长晶过程的全自动控制；

分级权限，便于工艺参数管理；

远程 控制，实现无人值守。

温度、压力控制的稳定性；重复定位的准确性；快速抽空及长时间真空保压。

布局紧凑合理，整机呈框架式结构，将电控箱、加热电源巧妙集成于一体。

电动升降上下料，托盘降至*低位置后可水平移出，电动升降炉盖，省时省力，安全可靠。

配置两路真空系统，高精度用于晶体生长的压力控制，普通精度用于抽真空。