PVT-SIC-400晶体炉

简介 ： 

1.适用于6/8英寸，导电/高纯半绝缘型SIC晶体生长。 2.适用于长时间，高质量，规模型晶体生长。 3.拥有高精度的控温、控压能力，工艺性能优良，设备一致性好，具有丰富的量产经验。 4.可选恒功率、恒电流、恒温工作模式。 5.一键智能启动，减少人工干预，利于规模化生产。 6.紧凑立体化的整机设计，方便布局，提高厂房利用率。 7.采用高精度蝶阀和质量流量计控制炉内长晶压力，提供稳定的