HVPE卤化物气相外延炉

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产品摘要
HVPE卤化物气相外延炉由山东晶升电子科技有限公司提供。
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产品参数
型号
HVPE卤化物气相外延炉
产品详情

3.外延速率:≥200微米/小时。 4.氧化镓同质外延厚度:>20微米。 5.外延片尺寸:2/4/6英寸。